正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

維護(hù)內(nèi)容：

1.真空泵長期停用，需將泵拆開，擦干水分，將轉(zhuǎn)動部位及結(jié)合處涂以油脂裝好，妥善保存。

2.向軸承體內(nèi)加入軸承潤滑機油，觀察油位應(yīng)在油標(biāo)的中心線處，潤滑油應(yīng)及時更換或補充。

3.真空泵要停止使用時，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機。

4.檢查油罐車真空泵管路及結(jié)合處有無松動現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動真空泵，試看真空泵是否靈活。

5.擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注引水（或引漿)。